ScholarWorks@인하대학교

상세 보기

반응성 이온 식각 장비에서 산소 플라즈마를 이용한 백금의 식각에 관한 연구

A Study on Pt etch by oxygen plasma in Reactive Ion Etcher
  • PARK SEGEUN
제목
반응성 이온 식각 장비에서 산소 플라즈마를 이용한 백금의 식각에 관한 연구
제목 (타언어)
A Study on Pt etch by oxygen plasma in Reactive Ion Etcher
저자
PARK SEGEUN
학회명
대한전자공학회 추계학술대회 논문집

ScholarWorks@인하대학교

22212 인천광역시 미추홀구 인하로 100 정석학술정보관 Tel. 032-860-9003

COPYRIGHT © 인하대학교 All Rights Reserved.

Certain data included herein are derived from the © Web of Science of Clarivate Analytics. All rights reserved.

You may not copy or re-distribute this material in whole or in part without the prior written consent of Clarivate Analytics.