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포토리지스트 흘림 공정을 이용한 곡선형 수직 광 결합 구조의 제작
Fabrication of a Curved Vertical Optical Coupling Structure Using Photoresist Reflow Process
- 제목
- 포토리지스트 흘림 공정을 이용한 곡선형 수직 광 결합 구조의 제작
- 제목 (타언어)
- Fabrication of a Curved Vertical Optical Coupling Structure Using Photoresist Reflow Process
- 저자
- O BEOM HOAN
- 학회명
- Photonics Conference 2004