포토리지스트 흘림 공정을 이용한 곡선형 수직 광 결합 구조의 제작

Fabrication of a Curved Vertical Optical Coupling Structure Using Photoresist Reflow Process
제목
포토리지스트 흘림 공정을 이용한 곡선형 수직 광 결합 구조의 제작
제목 (타언어)
Fabrication of a Curved Vertical Optical Coupling Structure Using Photoresist Reflow Process
저자
O BEOM HOAN
학회명
Photonics Conference 2004