Effect of Hydrogen Dilution on Nano-Structural and Physical Featres of Nc-Si:H Thin Films Prepared by PECVD Techniques

수소희석비에 따른 nc-Si:H 박막의 나노구조 및 물성 변화
  • CHO NAMHEE
제목
Effect of Hydrogen Dilution on Nano-Structural and Physical Featres of Nc-Si:H Thin Films Prepared by PECVD Techniques
제목 (타언어)
수소희석비에 따른 nc-Si:H 박막의 나노구조 및 물성 변화
저자
CHO NAMHEE
학회명
2011년 한국세라믹학회 추계총회 및 연구발표회
개최지
김대중컨벤션센터
학회 개최일
2011-10-24 ~ 2011-10-25