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초록
본 연구에서는 PLD법과 스퍼터법을 이용하여 각각 Si과 LaAlO3 기판 위에 La1-xCaxMnO3 막을 성장하였다. 스퍼터법의 경우 스퍼터 파워, 기판온도, 타겟조건, Ar 유량, 증착시간 등을 달리하며 증착하였다. PLD법의 경우 5 Hz, 2.0 J/cm2 의 KrF 레이져를 이용하여 750oC 기판온도, 산소분압 100 mTorr에서 증착하였다. 증착한 박막의 두께와 조성분석은 각각 surface profiler와 RBS를 이용하였고, HRXRD, HRTEM 등을 이용하여 결정 구조 및 스트레인을 분석하였따. 또한 박막의 자기저항 값을 구하기 위하여 4탐침법을 이용하였다. 이러한 구조적 전기적 특성의 상관관계를 고찰하였다.
- 제목
- 증착조건에 따른 La1-xCaxMnO3 박막의 결정구조 및 자기저항 특성
- 제목 (타언어)
- Crystalline structure and magnetoresistance characteristics of La1-xCaxMnO3 (0<x<0.5) thin films with deposition conditions
- 저자
- CHO NAMHEE
- 학회명
- 2000년도 한국 재료학회 춘계 학술발표강연 및 논문 개요집