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Preceramic Polymer를 이용한 SIOC(-H) 저유전 박막의 제조

Preceramic Polymer를 이용한 SIOC(-H) 저유전 박막의 제조
  • KIM HYUNG SUN
제목
Preceramic Polymer를 이용한 SIOC(-H) 저유전 박막의 제조
제목 (타언어)
Preceramic Polymer를 이용한 SIOC(-H) 저유전 박막의 제조
저자
KIM HYUNG SUN
학회명
추계한국재료학회

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