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초록
본 논문에서는 차세대 반도체 소자의 3차원적 제현상을 예측하기 위하여, 3차원 시뮬레이터인 INPROS 시스템을 개발하였다.
- 제목
- 3차원 VLSI 공정 시뮬레이터 INPROS의 개발 현황
- 제목 (타언어)
- Recent Development in Three-dimensional VLSI Process Simulator: INPROS
- 저자
- WON TAEYOUNG
- 학회명
- 제4회 한국반도체 학술대회 논문집
본 논문에서는 차세대 반도체 소자의 3차원적 제현상을 예측하기 위하여, 3차원 시뮬레이터인 INPROS 시스템을 개발하였다.