RF 스퍼터법으로 제조된 Al:ZnO 박막의 증찫후 열처리 효과에 따른 물리적 특성 평가

  • CHO NAMHEE
제목
RF 스퍼터법으로 제조된 Al:ZnO 박막의 증찫후 열처리 효과에 따른 물리적 특성 평가
저자
CHO NAMHEE
학회명
2008년 한국세라믹학회 추계총회 및 연구발표회
개최지
수원, 한국
학회 개최일
2008-10-24 ~ 2008-10-25