Novolak 계열과 Epoxy 계열의 고분자를 이용한 새로운 multi layer 패턴 형성 방법

Novolak 계열과 Epoxy 계열의 고분자를 이용한 새로운 multi layer 패턴 형성 방법
제목
Novolak 계열과 Epoxy 계열의 고분자를 이용한 새로운 multi layer 패턴 형성 방법
제목 (타언어)
Novolak 계열과 Epoxy 계열의 고분자를 이용한 새로운 multi layer 패턴 형성 방법
저자
O BEOM HOAN
학회명
대한전자공학회 하계종합학술대회