LED방열소재 응용을 위한펄스 레이저 증착법에 의한그래핀 박막성장

초록

그래파이트 박막 성장을 위하여 펄스 레이저 디포지션을 활용하였다. 일반적인 박막형성 기술인 CVD(화학기상 증착)법에 비하여 증착속도와 대량생산 면에서는 불리하지만, 대량생산과 촉매가 필요 없는 점에서 장점이 있다. 형성된 그래파이트 박막은 LED 방열소재로 활용이 기대된다.