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초록
본 연구에서는 AlGaAs/GaAs 에피 구조와 제조 공정에 사용될 마스크를 설계 및 제작하고, 이를 이용하여 다양한 크기의 HBT를 제작하였다. 제작된 소자는 HP4145B와 HP8510C 장비를 이용하여 DC 및 AC 특성을 측정하였는데, 소자의 크기에 따른 특성을 비교 및 분석하였다.
- 제목
- 카본 도핑된 베이스를 갖는 AlGaAs/GaAs HBT의 고주파 특성
- 제목 (타언어)
- High-Frequency Characteristics AlGaAs/GaAs HBT with Carbon-dopped Base
- 저자
- WON TAEYOUNG
- 학회명
- 제4회 한국반도체 학술대회 논문집