Sol-Gel 방법을 이용한 유기물-무기물 혼합 실리카 AWG의 제작

초록

유기 금속화합물을 출발물질로 이용하는 졸겔 방법으로 균열이 없는 유기-무기 복합 실리카 박막을 제작하였으며, 조성비, prebake, postbake 온도 등의 제작조건에 따른 박막의 굴절률 변화를 체계적으로 조사하여 재현성 있는 제작조건을 확립하였다. 또한, 이 방법으로 배열도파로 소자를 제작하였다. 제작된 배열 도파로 소자는 박막 두께를 1.6 um로 하였으며, 도파로폭을 각각 2.8 um로 하였다.