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초록
본 논문에서는 반도체 생산 환경인 Foundry Service 체제 하에서 주문고객의 다양한 욕구를 충족시킬 수 있는 통합생산시스템을 설계하였다. 화합물 반도체 제조공정과 Foundry Service 특성을 분석하고 제조 공정정보의 수집방안 및 적용 방안에 대한 설계를 하였다. 설계된 시스템을 바탕으로 추후 구축하고자 하는 통합생산시스템의 개발에 적용하게 되면 시스템의 개발기간을 단축할 것으로 예상된다.
- 제목
- 화합물 반도체공장의 통합생산시스템 설계에 관한 연구
- 제목 (타언어)
- A Design of Integrated Manufacturing ystem for Compound Semiconductor Fabrication
- 저자
- Lee,Hwa Ki
- 학회명
- 2003 한국산업경영시스템학회 춘계학술대회