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초록
반도전 실리콘과 절연실리콘의 방전특성을 향상 시키기 위하여 표면의 거칠기를 변화 시키며 접착특성과 방전에 미치는 이의 영향을 조사 하였다.
- 제목
- 거칠기 에따른 반도전-절연 계면층에서 접착특성과 절연성능
- 제목 (타언어)
- 영문제목 Adhesion and electrical perfomance by roughness on semiconductor -insulator interface layer of silicon rubberr
- 저자
- HUH CHANG SU
- 학회명
- 2004 한국전기전자재료학회 하계학술대회 논문집