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반응성 DC magnetron sputtering으로 제작한 SnO2 박막의 Sb dopant가 광학적, 전기적 특성에 미치는 영향
CHEON LEE
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제목
반응성 DC magnetron sputtering으로 제작한 SnO2 박막의 Sb dopant가 광학적, 전기적 특성에 미치는 영향
저자
CHEON LEE
학회명
한국진공학회 제13회 학술발표회(군산대)
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