반응성 DC magnetron sputtering으로 제작한 SnO2 박막의 Sb dopant가 광학적, 전기적 특성에 미치는 영향

제목
반응성 DC magnetron sputtering으로 제작한 SnO2 박막의 Sb dopant가 광학적, 전기적 특성에 미치는 영향
저자
CHEON LEE
학회명
한국진공학회 제13회 학술발표회(군산대)