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초록
SiOxFy 박막을 이옹빔 보조 증착법으로 제작하고 굴절률의 불균일도를 포락선 방법으로 측정하였다.
- 제목
- 이온빔보조증착 SiOxFy 박막의 불균일 굴절률 측정
- 제목 (타언어)
- Inhomogeneous refractive index of SiOxFy thin films prepared by ion-beam assisted deposition
- 저자
- CHANG KWON HWANGBO
- 학회명
- 제15회 광학및 양자전자 학술발표회
SiOxFy 박막을 이옹빔 보조 증착법으로 제작하고 굴절률의 불균일도를 포락선 방법으로 측정하였다.