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Helical Resonator 배열을 통한 대면적 고밀도 Plasma Source

Preparation of Large Area Plasma Source by Helical Resonator Arrays
  • PARK SEGEUN
제목
Helical Resonator 배열을 통한 대면적 고밀도 Plasma Source
제목 (타언어)
Preparation of Large Area Plasma Source by Helical Resonator Arrays
저자
PARK SEGEUN
학회명
전자공학회 하계학술대회

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