Screen printing 법으로 제조한 YIG 후막에 미치는 Fe2O3 첨가영향

초록

YIG (Yttrium Iron Garnet) 계 ferrite는 수 GHz의 주파수 범위에서 자기적 손실이 작은 재료로서 oscillator, isolator, circulator 등의 microwave용 소자에 널리 이용되고 있다. 최근 전자통신산업의 급속한 발달 추세에 맞춰 microwave용 소자의 소형화, 경량화의 필요로 가네트형 페라이트의 박막 또는 후막화가 이루어지고 있다. 본 연구에서는 MMIC(Monolithic Microwave Integrated Circuit)용 YIG 후막을 제조하기 위하여 경제적이며 두께 조절이 용이한 screen printing법으로 두께 수십 ㎛정도의 다결정 YIG 후막을 만들고 그 특성을 검토하였다. 특히 green sheet의 제조 조건 및 Fe2O3의 첨가량 등이 YIG 후막의 미세구조와 자기적 특성에 미치는 영향에 관한 연구를 중점적으로 수행하였다.