ScholarWorks@인하대학교

상세 보기

반도체 칩 검사용 MEMS Probe tip의 전산 설계 및 maskless lithography를 이용한 패턴 제작

제목
반도체 칩 검사용 MEMS Probe tip의 전산 설계 및 maskless lithography를 이용한 패턴 제작
저자
조명우
학회명
한국생산제조시스템학회 2013년도 춘계학술대회

ScholarWorks@인하대학교

22212 인천광역시 미추홀구 인하로 100 정석학술정보관 Tel. 032-860-9003

COPYRIGHT © 인하대학교 All Rights Reserved.

Certain data included herein are derived from the © Web of Science of Clarivate Analytics. All rights reserved.

You may not copy or re-distribute this material in whole or in part without the prior written consent of Clarivate Analytics.