전자빔을 이용한 비정질 실리콘 박막의 결정화

  • CHO NAMHEE
제목
전자빔을 이용한 비정질 실리콘 박막의 결정화
저자
CHO NAMHEE
학회명
2008년 한국세라믹학회 추계총회 및 연구발표회
개최지
수원, 한국
학회 개최일
2008-10-24 ~ 2008-10-25