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대기압하의 고주파 열플라즈마에 의한 다이아몬드 증착

Diamond Deposition by the Thermal Plasma at Atmospheric Pressure
  • DONG WHA PARK
제목
대기압하의 고주파 열플라즈마에 의한 다이아몬드 증착
제목 (타언어)
Diamond Deposition by the Thermal Plasma at Atmospheric Pressure
저자
DONG WHA PARK
학회명
제1회 CVD심포지움 논문집(한국진공학회지)

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