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식각율 차이를 이용한 곡면 가공
The development of curved structure manufacturing using selective plasma etching
- 제목
- 식각율 차이를 이용한 곡면 가공
- 제목 (타언어)
- The development of curved structure manufacturing using selective plasma etching
- 저자
- O BEOM HOAN
- 학회명
- Photonics Conference 2004