에어-브리지 소자 분리 방식의 Ka-band HBT 제작 연구

A study on the fabrication of Ka-band HBT with air-bridge structure
  • WON TAEYOUNG

초록

본 논문에서는 차세대 이동 통신용 초고속 소자인 이종 접합 쌍극성 트랜지스터의 고주파 특성을 향상시키기 위하여 고주파 동작 특성에 크게 영향을 미치는 소자의 크기, 형태 및 구조 등을 네가지 타입의 공정으로 나누어 제작함으로써, 제조 공정상의 특징과 특정된 DC 및 AC 특성을 비교 분석하였다.

제목
에어-브리지 소자 분리 방식의 Ka-band HBT 제작 연구
제목 (타언어)
A study on the fabrication of Ka-band HBT with air-bridge structure
저자
WON TAEYOUNG
학회명
대한전자공학회 추계종합학술대회 논문집