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초록
본 연구에서는 차세대 기가 비트급 반도체 메모리를 제조를 위한 핵심기술 중 소자 분리 기술로서 주용한 얕은 트렌치 및 R-LOCOS 소자 분리 공정에 대한 3차원 모델링을 확립하고, 이를 바탕으로 공정 모의 실험용 시뮬레이터를 개발함으로써, 상기 공정을 컴퓨 터 모의 실험하고자 하였다.
- 제목
- 열산화 공정의 3차원 모델링 및 시뮬레이션
- 제목 (타언어)
- Three-dimensional Modeling and Simulation of Thermal Oxidation Process
- 저자
- WON TAEYOUNG
- 학회명
- Proceeding of the '97 SERI Supercomputing Workshop