AFM용 multi-wall carbon nanotube tip의 제작과 시료측정

초록

AFM(Atomic Force Microscope)은 공기중에서 nm의 공간분해능으로 표면위의 미소형상을 측정할 수 있다. 그러나 AFM 탐침 첨단의 크기는 10nm정도이지만, 탐침의 형상이 피라미드나 원추형태를 가짐으로써 종횡비(aspect ratio)가 큰 미세패턴 측정시에 탐침의 끝이 아닌 측면에 닿으면서 image가 왜곡되거나, 깊은 골을 가진 형상의 경우에는 바닥을 볼 수 없다. 따라서 직경이 수십 nm이며 종횡비가 수백대 일에 달하는 대롱형태의 MWNT(multi-wall carbon nanotube) tip은 기존 AFM 탐침이 갖고 있는 단점을 보완할 수 있다. 본 연구에서는 상요 AFM 탐침에 arc discharge 방법을 통해 만든 MWNT를 부착하여 300nm 간격을 가진 격자를 측정하였다. 기존의 탐침을 사용한 측정에서는 바닥면을 읽지 못하고 골의 격자간격만을 확인할 수 있었으나, MWNT tip을 이용한 측정에서는 격자사이의 골에 바닥부분도 측정이 가능하였다.