플라즈마 이온 보조 증착법을 이용한 TiO2/MgF2 다층 박막의 광학적 물리적 특성개선

초록

광학 박막은 광,전자 선업의 성장과 함께 레이저 반사경, 간섭필터, 광학기기, 의료기기,디스플레이 기기 등에 폭넓게 이용되고 있다. 보트나 전자총을 이용한 물리적 증기 증착법으로 증착된 박막은 증착 조건에 크게 영향을 받으며, 증착 입자의 에너지가 0.01~0.1 eV 정도로 매우 자기 때문에 기판 위에서 증착 입자의 이동도가 낮아 자유롭게 이동하지 못하고 빈 공간을 포함하는 다공성의 기둥 미세구조를 형성한다. 이러한 기둥 미세구조의 영향으로 덩어리 물질에 비해 박막의 조밀도는 낮아지게 되고 굴절률이 작아진다. 박막의 기둥 미세구조는 수분, 열 등에 의해 부착력을 감소시키고, 균열의 원인이 되어 외부 환경에 대한 내구성을 약화시켜 수명이 단축되는 결과 등을 초래한다. 따라서 온도, 수분 등의 환경 변화에 대한 광학적, 기계적 특성의 안정화와 내구성이 요구되고 있으며, 이와 같은 문제를 해결하기 위해 기판의 온도를 높이는 방법과 이온빔 등을 이용한 보조 증착법이 사용되고 있다.