진공증착법을 이용한 강유전체 박막의 제조와 압전특성

초록

본 연구는 진공증착법을 이용하여 PVDF 박막을 제조하는데 있다. 증착은 전계 142.8kV/cm, 증착 온도 270℃, 진공도 2.0×10-5Torr에서 실행하였다. 증착된 박막의 결정 구조와 분자 배향은 XRD와 FT-IR로 조사하였다. PVDF 박막의 결정 구조는 기판 온도의 증가에 따라서 α형태에서 β형태로 상천이 되었다. 또한 d33와 g33압전 계수는 높은 기판 온도에서 제조한 PVDF 박막이 저온의 기판 온도에서 제조한 PVDF 박막에 비해 약 1.6배 증가하였다.