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자기변형 MEMS 구조물 설계를 위한 TbFe와 SmFe 박막의 두께에 따른 자기변형 해석

제목
자기변형 MEMS 구조물 설계를 위한 TbFe와 SmFe 박막의 두께에 따른 자기변형 해석
저자
CHO CHONG DU
학회명
2006 한국 KMEM 제8회 학술대회

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