마이크로 3축 링 자이로스코프의 동역학

초록

본 논문에서는 3축에 대한 각속도를 감지할 수 있는 마이크로 실리콘 링 자이로스코프의 설계에 필료한 동역학적 특성들을 체계적으로 검토하고 해석하여 그 결과를 제시하였다. 링 자이로스코프는 자유롭게 움직일 수 있는 링이 순환대칭으로 배열된 지지대에 연결되고 지지대는 자이로스코프 본체에 고정된 구조를 갖고 있다. 링 자이로스코프의 고유진동모드는 순환대칭면에 대하여 면내운동과 면외운동으로 구분될 수 있으며, 링 자이로스코프 본체의 회전운동으로 인한 자이로 효과에 의해서 면내운동과 면외운동이 연성된다. 운동방정식과 각속도에 따른 응답, 고유진동모드들 사이의 관계를 유도하였고, 마이크로 3축 링 자이로스코프의 설계에 관해서 기존의 연구들과 비교하였다.