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유한요소법을 이용한 반도체의 산화막 성장에 대한 연구
Study on the Oxide Growth of Semiconductor by Finite Element Mrthod
- 제목
- 유한요소법을 이용한 반도체의 산화막 성장에 대한 연구
- 제목 (타언어)
- Study on the Oxide Growth of Semiconductor by Finite Element Mrthod
- 저자
- CHO CHONG DU
- 학회명
- Proceedings of KSME 96 Fall Conference