유한요소법을 이용한 반도체의 산화막 성장에 대한 연구

Study on the Oxide Growth of Semiconductor by Finite Element Mrthod
제목
유한요소법을 이용한 반도체의 산화막 성장에 대한 연구
제목 (타언어)
Study on the Oxide Growth of Semiconductor by Finite Element Mrthod
저자
CHO CHONG DU
학회명
Proceedings of KSME 96 Fall Conference