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rf FTMS법에 의해 제조된 산화물박막의 타켓-기판간 거리 의존성

  • Lee Duck Chool
제목
rf FTMS법에 의해 제조된 산화물박막의 타켓-기판간 거리 의존성
저자
Lee Duck Chool
학회명
대한전기학회 하계학술대회

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