HDP-CVD를 이용한 OLED용 수분침투 방지막에 대한 연구

Thin film permeation barrier for OLED using HDP-CVD
제목
HDP-CVD를 이용한 OLED용 수분침투 방지막에 대한 연구
제목 (타언어)
Thin film permeation barrier for OLED using HDP-CVD
저자
PAIKKYUN SHIN
학회명
2006 대한전기학회 하계학술대회