전류파형 변화에 의한 Ti 금속 표면에서 BaTiO3박막 제조

초록

전기화학적 방법에 의한 산화물 제조는 일반적으로 양극산화에 의하여 시료금속의 표면위에 산화막(예: Al2O3,Ta2O5)을 형성시키는 방법으로 공업적으로 널리 이용되어 왔다. 그러나 페롭스카이트와 같은 복합산화물의 전기화학적 방법에 의한 박막제조는 최근에 연구되기 시작하였으며,100℃ 이하의 저온 합성이 가능하고 전해조건의 변화에 따라 박막의 두께조절 및 다양한 형상을 지는 전극표면위에 박막을 형성시킬 수 있는 장점을 지니고 있다. 본 연구에서는 일정한 산화 전류를 인가하는 방법 및 환원전류를 산화전류에 중첩시킨 pulse파형을 주기적으로 인가하는 전류제어 방식의 두가지 다른 방법으로 Ti전극위에 BaTiO3박막을 제조하고, 전극표면에서의 반응 및 형성기구를 조사하였다.