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초록
본 논문에서 개발된 3차원 토포그래피 시뮬레이터인, 3D-SURFILER에서는 3차원 토포그래피를 구현하기 위하여 셀 제거 모델을 도입하였고, 표면으로 입사된 입자가 최종 식각 형상에 미치는 영향을 분석하기 위한 모델을 도입하였다.
- 제목
- 3차원 토포그래피 시뮬레이터 개발
- 제목 (타언어)
- 3D-SURFILER ; Topography Simulator for Plasma Etching Process
- 저자
- WON TAEYOUNG
- 학회명
- 제5회 한국반도체학술대회 논문집