정전기 방전에 의해 발생하는 전압 파형의 특성

초록

전자기기는 신뢰성과 경제성 등을 향상시킬 목적으로 점점 더 소형화·저전력화 추세에 있으며, 이는 소자들의 내전압 특성을 저하시켜 적은 양의 전압 전류에도 쉽게 파괴되는 결과를 가져왔다. 최근 정보통신 산업의 눈부신 발전으로 인해 우리 주변 전자기기에 이런 집적화된 반도체 소자들이 많이 쓰이고 있으며, 이는 대전된 사람과 전자기기의 접촉시 발생하는 정전기 방전에 의해 장해가 발생할 확률이 그만큼 많아지게 됨을 의미한다. 집적회로는 정전기 방전시 발생하는 전류와 전류가 회로를 흐를 때 발생하는 전압 혹은 그 둘이 만들어내는 열에너지에 의해 쉽게 파손되는 특징을 가졌으나 기존 연구는 전류나 전압 한쪽에만 초점이 맞춰져 있었다. 이런 이유로 정전기 방전을 해석하기 위해 전압, 전류 파형을 동시에 측정할 수 있는 센서를 제안하였고, 이를 바탕으로 인체에서 흔히 발생하는 정전기 방전현상에 대한 전반적인 해석을 목적으로 실제로 발생빈도가 높은 행동조건(인체가 서있는 바닥재질, 습도, 온도, 옷 재질, 인체가 쥐고있는 물체의 변화, 대전된 물체의 접근속도 차이)을 모의해서 정전기 방전시에 발생하는 전압과 전류 파형을 측정하고 그들 파형의 특성을 분석하였다.