BA 처리 스테인리스 스틸 316L 전해연마 튜브의 미세조직 및 표면 특성에 관한 연구

초록

BA(Bright Annealing) 처리된 스테인리스 스틸 316 L 전해연마(Electropolished, EP) 심리스 튜브는 반도체 및 바이오 산업의 고 청정 배관재로 널리 사용된다. 특히 6.35 mm~25.4 mm의 소구경 튜브는 고집적 장비의 가스 라인에서 핵심적으로 적용되며, 직경에 따라 인발?재결정 과정의 반복, 변형률, 열처리 균일성이 달라져 최종 미세조직 형성에 영향을 미친다. 이러한 차이는 전해연마 과정 에서의 전기화학적 제거와 표면 형상에도 반영된다. 본 연구에서는 6.35 mm, 12.7 mm, 19.05 mm의 직경별 BA 처리 316L 심 리스 튜브를 대상으로 미세조직과 표면 특성을 비교하였다. 광학 관찰을 통해 DD, TD, ND 방향에서 오스테나이트 기지 내 결정 립과 쌍정(twin)을 확인하였으며, 튜브 내부 전해 연마면에서는 국부적으로 불균일한 표면 형상을 확인하였다. 이러한 형상을 직경별 로 비교하고, 성분 및 결정방위 분석을 위해 SEM-EDS와 EBSD 조사를 수행하였다. 본 연구는 직경 차이에 따른 인발?재결정 공 정 이력이 미세조직과 전해연마 후 표면 형상으로 이어지는 인과관계를 규명하였으며, 이는 고청정 배관재 제조와 품질 관리 최적화 를 위한 기초 자료로 활용될 수 있다.