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엠보싱용 실리콘 마스터 제작을 위한 Cl2 가스 기반의 건식 식각
Fabrication of a Silicon master for NIL technology with Cl2 based dry etch
- 제목
- 엠보싱용 실리콘 마스터 제작을 위한 Cl2 가스 기반의 건식 식각
- 제목 (타언어)
- Fabrication of a Silicon master for NIL technology with Cl2 based dry etch
- 저자
- O BEOM HOAN
- 학회명
- COOC 2007