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초록
본 논문에서는 반도체공정의 시뮬레이터 개발에 대한 전반적인 고찰과 각 단위공정별로의 모델링에 대해서 논의하였다. 메모리 사용의 제한으로 인해서, 그 동안 시뮬레이터 제작이 워크스테이션급에서만 제한되었으나, 원도우즈 32비트 환경에서 개발함에 따라서 기존의 고성능 PC 뿐만 아니라, 윈도우즈 NT 기반의 어떤 환경에서도 사용될 수가 있게 되었다.
- 제목
- 반도체 공정 시뮬레이터 개발에 관한 연구
- 제목 (타언어)
- Development of VLSI Process Simulation
- 저자
- WON TAEYOUNG
- 학회명
- 한국전기전자재료학회 추계 학술대회