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포토리지스트 흘림 공정을 이용한 수직 광 결합 도파로 구조의 제작

Fabrication of an Optical Interconnecting Structure that Incorporates Vertically Curved Mirrors using Photoresist Reflow Process
  • PARK SEGEUN
제목
포토리지스트 흘림 공정을 이용한 수직 광 결합 도파로 구조의 제작
제목 (타언어)
Fabrication of an Optical Interconnecting Structure that Incorporates Vertically Curved Mirrors using Photoresist Reflow Process
저자
PARK SEGEUN
학회명
COOC 2006

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