MOCVD법을 이용한 ZnO 박막성장시 증착변수에 따른 미세구조 변화 거동

제목
MOCVD법을 이용한 ZnO 박막성장시 증착변수에 따른 미세구조 변화 거동
저자
SANG SUB KIM
학회명
2003년 한국세라믹스학회 추계학술회의