반응성 스퍼터법으로 제작한 SnO2:Sb 박막의 전기적,광학적 특성

제목
반응성 스퍼터법으로 제작한 SnO2:Sb 박막의 전기적,광학적 특성
저자
CHEON LEE
학회명
전기전자재료학회 추계학술대회