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다결정 실리콘 CMP 에 있어 선열처리 공정에 따른 연마율 변화에 관한 연구
The Effect of Preannealing on Material Removal Rate in Polysilicon CMP
- 제목
- 다결정 실리콘 CMP 에 있어 선열처리 공정에 따른 연마율 변화에 관한 연구
- 제목 (타언어)
- The Effect of Preannealing on Material Removal Rate in Polysilicon CMP
- 저자
- SANGHEE YOON
- 학회명
- 한국정밀공학회 2015 년도 춘계학술대회
- 개최지
- 제주시
- 학회 개최일
- 2015-05-13 ~ 2015-05-15