폐Si를 원료로 한 carbon-fiber 강화 Si3N4세라믹스의 제조

초록

반도체용 Si 웨이퍼 제작시 피생되는 폐 슬러지를 이용하여 Si3N4 를 제조하였다. 복합재료의 물성과 미세조직을 관찰하였고, 기계적 특성을 평가하였다.