TSP검사용 micro bump 제작을 위한 maskless lithography system 공정 연구

제목
TSP검사용 micro bump 제작을 위한 maskless lithography system 공정 연구
저자
조명우
학회명
한국정밀공학회
개최지
제주라마다프라자제주호텔
학회 개최일
2017-05-17 ~ 2017-05-19