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멤스 미소 거울의 희생층 재료와 제거 공정의 최적화

Improved Etch Process for Sacrificial layer of MEMS Micro-Mirror
  • LEE EL HANG
제목
멤스 미소 거울의 희생층 재료와 제거 공정의 최적화
제목 (타언어)
Improved Etch Process for Sacrificial layer of MEMS Micro-Mirror
저자
LEE EL HANG
학회명
Photonics Conference 2003 Proceeding

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