TiO2/SiO2 다층박막 증착 중 TiO2박막의 굴절률 변화

초록

본 논문에서는 광학 박막에 주로 사용되는 고굴절률과 저굴절률 물질로 TiO2와 SiO2를 사용하여 다층박막을 설계하고, 전자빔으로 증착한 다층 박막의 설계값과 측정값을 비교하였다. 증착한 박막의 반사율과 투과율은 분광광도계를 이용하여 측정하였다. 다층 박막 설계에 이용한 TiO2와 SiO2의 굴절률과 소멸계수는 단층 박막을 증착하여 포락선 방법으로 구하였다.