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마이크로파 증착 후 열처리에 따른 SiC 박막의 나노구조 및 발광특성

  • CHO NAMHEE
제목
마이크로파 증착 후 열처리에 따른 SiC 박막의 나노구조 및 발광특성
저자
CHO NAMHEE
학회명
2015년 한국세라믹학회 추계학술대회
학회 개최일
2015-11-04 ~ 2015-11-06

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