플라즈마 중합법에 의한 헥사메틸디실록산 박막의 제조 및 전기전도 특성

  • Lee Duck Chool
제목
플라즈마 중합법에 의한 헥사메틸디실록산 박막의 제조 및 전기전도 특성
저자
Lee Duck Chool
학회명
대한전기학회 하계학술대회