The Effect of Silicon Grinding Conditions on the Synthesis of SiC powder

초록

태양광 산업에서 발생하는 고순도 실리콘을 활용하여 분쇄조건 의 변화가 탄화규소 분말의 합성특성에 미치는 영향을 살펴보았다. 원료로 사용한 고순도 실리콘 및 합성된 탄화규소 분말의 특성분 석을 위해서 SEM, XRD, 입도분포, FT-IR 및 화학성분 분석을 실 시하였다. 실리콘 분쇄 실험결과, 실리콘 분말의 분쇄시간을 증가 할수록 실리콘 입자크기가 감소하며, 실리콘 입자의 표면이 산화 되어 산화규소로 전환되었다. 탄화규소 합성실험 결과, 반응물인 실리콘 입자의 크기가 작을수록 미 반응 실리콘 및 산화규소 성분 이 다량 검출 되었다. 일반적으로 반응 입자의 크기가 작을수록 반 응이 촉진되지만 본 실험에서는 산화규소가 분쇄시간이 증가함에 따라서 증가함으로써, 탄화규소의 생성을 방해하는 것을 확인할 수 있었다. 그 이유로는 실리콘 입자가 분쇄고정에서 실리콘이 산화 규소로 전환되기 때문에 반응입자가 작음에도 불구하고 미반응 실 리콘 및 산화규소 성분이 다량 검출된 것으로 판단된다.