DLC 합성시 산소,수소,및 질소 첨가의 효과

초록

질소의 첨가량이 증가됨에 따라 막의 stress가 감소함을 보였는데, 이것은 질소의 첨가에 의하여 탄소사이의 연결고리가 감소함으로써 막의 잔류응력이 저하된 데에 기인한 것으로 생각된다. 가시광선과 자외선영역에서는 질소의 첨가에 따른 특별한 변화를 관찰할 수 없었다. 플라즈마 CVD공정에서 반응기체에 산소를 첨가한 결과 DLC막의 광학적 특성이 월등히 향상됨을 발견하였다. 이는 산소가 합성분위기에 참여함으로써 탄화수소기를 증가시켜 흑연성분을 우선적으로 에칭하기 때문인 것으로 보인다. 한편, 3%의 O2를 첨가한 경우에는 잔류응력이 크게 증가하였다. 여러 중간층에 대한 DLC막의 막내응력과 그에 따라 예상되는 접착강도가 잘 일치하지 않는데, 이는 막의 합성 시 중간층과 DLC의 계면에 형성된 화합물의 존재로 인해 계면에서 부착이 막내의 응력과는 무관하게 이루어졌기 때문으로 생각된다.