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초록
본 논문에서는 차세대 반도체 소자의 제작에 있어서 핵심 단위 공정인 열산화 공정을 모의 실험하기 위한 3차원 메쉬 생성기를 제작하였다. 제작된 메쉬 생성기는 산화막의 3차원적인 형상을 시뮬레이션하기에 적합하며, 사용 메모리의 방대한 증가를 막는 노드 제거 알고리즘과, 산화막의 성장에 따른 오차를 줄이기 위한 새로운 노드의 생성 알고리즘이 개발되었다.
- 제목
- 열산화 공정 시뮬레이션을 위한 3차원 적응 메쉬 생성기 제작에 관한 연구
- 제목 (타언어)
- Three Dimensional Adaptive Mesh Generator for Thermal Oxidation Simulation
- 저자
- WON TAEYOUNG
- 학회명
- 한국전기전자재료학회 추계학술대회 논문집